Tara-s.ru

Тара и Упаковка
0 просмотров
Рейтинг статьи
1 звезда2 звезды3 звезды4 звезды5 звезд
Загрузка...

Как окислялся кремний, или как запустить в России высокотехнологичное производство

Предыстория

Начну с истоков. В 2000 г в Делфте (Нидерланды) на базе Делфтского технологического университета была основана компания Mapper Lithography, основной идеей которой было создание безмасочной электронной литографии высокой производительности. Вкратце смысл технологии следующий: один электронный луч расщепляется на 13 000 лучей, затем каждый из этих лучей отдельно управляется, коллимируется, фокусируется и т.д. специальными электронными линзами, которые представляют собой пластины с огромным количеством сквозных отверстий. Таким образом, ключевым элементом установки является электронно-оптическая колонна из порядка 20-ти различных элементов. Подробнее о принципах работы машины Mapper Lithography можно прочитать в статье BarsMonster «Вероятное будущее производства микроэлектроники: безмасочная многолучевая электронная литография от Mapper Lithography». Мы же остановимся на одной из фраз из этой статьи: «…все эти микропластинки с «дырками» изготавливаются по уже отработанным MEMS техпроцессам на серийных заводах…» которая имеет ключевое значение для всей нашей дальнейшей истории.

Итак, после длительного периода разработок и изготовления опытных образцов, Mapper Lithography подошла к моменту, когда понадобилось много качественных и воспроизводимых элементов электронной оптики. Первоначальные образцы изготавливались в Делфтском университете, но изготовить прототип и доказать работоспособность концепции – это одно, а наладить серийное производство с жёстким контролем качества – это другое, и задачей университета не является. Очевидный следующий шаг – «отработанные техпроцессы на серийных заводах», но тут Mapper Lithography ждал неприятный сюрприз – производителей, желающих изготавливать такие элементы, не нашлось. Во-первых, требования Mapper Lithography к МЭМС элементам электронной оптики оказались слишком высокими для обычных МЭМС производств. Например, точность совмещения отверстий под электронные пучки с уже существующей CMOS логикой должна быть не более сотни нанометров, на обычных МЭМС фабриках в основном используются контактные методы литографии, которые не позволяют добиться точности совмещения существенно лучше микрометра. Во-вторых, Mapper Lithography требовались специально разработанные метрологические установки для контроля качества электронных линз, которые в обычном МЭМС техпроцессе не используются. В-третьих, объемы производства элементов слишком малы (максимум несколько тысяч в год). Таким образом, «отработанные техпроцессы на серийных заводах» не подошли.

Читайте так же:
Движения под кирпич маршрутным транспортным средствам

Как справедливо решили голландцы, если завод не идет к Магомету, то Магомет строит свой собственный завод. Тут, правда, возник неприятный вопрос: Где деньги, Зин? Нужны инвесторы, найти их можно, но в обмен на инвестиции они хотят большой кусок пирога, особенно в области прав интеллектуальной собственности. Проект практически зашел в тупик, но тут на горизонте появился Роснано с интересным предложением: инвестируем с основным условием, что завод будет построен в России. Обо всем договорились и решение было принято: Mapper Lithography получает МЭМС фабрику спроектированную и построенную под их нужды; Россия получает МЭМС фабрику мирового уровня, технологии, квалифицированные рабочие места и т.д. Как говорят американцы: «win-win situation». Так родилось ООО «Маппер», известное голландцам как Mapper LLC.

Надеюсь, мне удалось ответить на вопрос, который мне часто задают, когда видят нашу фабрику: «А почему в России?»

голоса
Рейтинг статьи
Ссылка на основную публикацию
Adblock
detector